电子科技大学采用Pluto-MD等离子去胶机进行晶圆去胶

电子科技大学已采购多台等离子设备，包括PLUTO-T等离子清洗机，PLUTO-MD等离子去胶机等，用户反馈良好。

主要涉及的应用有：晶圆光刻胶的去除、电子半导体样品表面有机物的去除、多功能微纳结构宽带吸收器的表面处理等等。